진공게이지 역시 30년 진공펌프 진공설비 전문 우성(주)가 갖추고 이써요!

진공펌프 전문 기업 우성(주)는 진공관련 장비/설비 까지 컨설팅합니다.

오늘은 진공게이지를 소개하겠습니다.

고진공게이지 - Ionization Type

1. KVC900은 고진공 2개와 저진공 2개를 사용하며 고진공센서는 이온게이지를 사용하며 저진공센서는  SHIM SENSOR를 사용한다.

2. 이온게이지는 고진공게이지이며 원자나 분자에 에너지를 가하면 전자를 잃고 전하를 띠게된다. 이 전하를 띤 분자들이 다시 중성이 되기 위해 전자를 얻을때 진공도가 측정된다.

3. 이온센서는 Filament + Ion Collector + Grid로 구성되며 열 필라멘터에 방출된 전자는 가열된 필라멘트에서 나온 음이온들이 그리드로 끌여 가속화되어 분자와의 충돌 가능성이 커진다. 충돌하면서 생긴 양으로 이온화도니 분자들이 이온콜렉터로 끌리게 되고 튜브내의 압력에 비례하여 이온전류가 형성된다. 이러한 이온전류를 통하여 비교적 정확한 진공도를 측정할 수 있다.

4. 하지만 유리로 되어 있어 충격에 약하며 깨질 가능성이 크다

5. KVC900 Range : 1000Torr ~ 1×10 ~ 10Torr 까지 이며 1000 Torr ~ 1×10Torr 까지는 SHIM 센서가 리딩하며 이후 1×10 ~ 10Torr 까지는 이온센서가 리딩한다.

6. Set Point 기능, 통신기능, Remote 기능은 옵션 사항이다.

고진공게이지 제품군

저진공게이지 제품군