진공펌프 루츠 오일로타리 드라이 피스톤 펌프 대한민국 대표 브랜드 우성진공펌프

진공펌프 대표브랜드 우성주식회사에 대해 설명이 필요 할까?

 오늘 소개할 우성의 진공펌프는 바로 루츠(ROOTS)펌프 이다

FRU SERIES ( ROOTS Pump )

펌프 실린더 안에서 모터로 회전되는 한쌍의 로터가 서로 반대로 회전하면서 펌프 흡입구로 가스를 유입하여 펌프 배기구로 배출하는 원리로 매우 다양한 진공분야에서 사용된다.

오일로타리 베인형 펌프, 피스톤형 펌프, 드라이펌프와 연결하여 높은 배기속도로 짧은 시간내에 목표압력에 도달한다.

대기압 작동펌프

FRU시리즈는 By-Pass Valvle 구조로 설계된 펌프로, 후단펌프와 결함된 ROOTS Pump는 대기압상태로부터 동시에 작동되어 작업시간을 단축하며 소비를 감소시키고, 모터의 손상을 방지하여 주고 외부의 압력 스위치가 필요치 않게 된다.

배기구의 수평/수직연결 사용

배기구를 수직으로 연결하여 챔버안에 축적된 응고물을 제거하여 환경보호에 적합하게 사용할 수 잇으며, 두가지 모델 FRU 1440, FRU 2880은 배기구를 수평 또는 수직으로 연결할 수 있어 시스템에 적합하게 선택, 사용할 수 있다.

간단한 유지보수

현장에서 쉽고 빠르고 안전하게 간단한 유지보수가 가능하다.

ISO 규격

흡입구, 배기구는 ISO 규격과 일치하게 설계하여 호환성이 좋다.

저소음 

정밀한 기어가 운전을 부드럽고 조용하게 만들어준다.

적용분야

반도체공정, 진공탈기, 진공야금, 진공건조, 진공증류, 진공함침, 진공충진, 박막코팅, 진공포장 등

 루츠펌프의 구조

오일리스 즉, 오일을 쓰지않는 건식펌프인 루츠(Roots) 펌프

로터리펌프는 배기를 한번하는데 4단계가 필요하지만 루츠펌프는 

두개의 로터의 회전이 반대로 작동하면서 흡입 압축 배기의 과정이 동시에 일어난다.

보통 로터리펌프와 같이 연결애서 배기를 극대화하기위한 보조펌프로 많이 사용한다.

루츠펌프의 장점

- 로터리펌프처럼 오일을 사용하지 않기 때문에  오일의역류로 인한 진공오염이 없다.

- 로터리펌프의 장시간 사용시 오일산화에 의한 성능저하 때문에 오일의 주기적교체가 일반적인데 

  이같은 관리비용 등의 문제가 없다. (반도체 제조에는 오염때문에 오일리스펌프를 사용한다.)

루츠펌프의 단점

- 과도한 사용시 로터의 열변형 

- 로터의 충돌로 인한 오작동 또는 고장 (로터의 감속회전, 냉각장치로 해결)

- 타펌프에 비해 기체역류의 위험이 상대적으로 높음

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